微观装置的制造及其处理技术-9游会

本申请总体上涉及电化学和湿法冶金领域，更具体地，涉及使用电化学和/或湿法冶金工艺从含铁原料中提取铁的系统和方法。、铁氧化物矿石可通过移除氧(即还原该氧化物)并以可在后续工艺中加工成有用产物的形式回收金属铁而转化成相对纯的金属铁。然后，根据要制造的钢的类型，通过加入少量的碳和其他元素，就可以...

本发明涉及一种微机电系统内的结构改良，尤其涉及一种有利于mems传感器提高性能且减少芯片体积的导线制造和布线方法。、微机电系统（micro electro mechanical systems，简称mems），指的是采用微纳技术在晶圆上加工制作的微纳结构和信号处理电路一体的微型器件系统。其...

本发明涉及mems压力传感器制造领域，更具体的说是，涉及一种硅压力应变器件的分离方法。、mems压力传感器：基于硅的压阻效应并采用先进的mems微加工工艺的压力传感器，可通过测量输出电压的变化达到对被测压力的精确测量。mems压力传感器具有精度高、体积小、动态响应快等优点。、微熔压力传感器...

本发明属于微电子晶圆加工的，具体是涉及一种硅基mems垂直电极结构的制造方法。、mems(micro-electro-mechanical system，微机电系统)器件以其底成本、小体积、低功耗、环境适应性强的优点，被广泛应用于以手机为代表的消费电子、以汽车为代表的普通工业设备及以人造卫...

本发明涉及显示，具体涉及一种基于电场诱导聚合物的微杯结构的制备方法。、电子纸是一种应用新型显示技术的柔性显示器件，其与传统纸张或平面显示相比，具有高分辨率、高对比度、低功耗、双稳态等优点，在市场上有广泛的应用前景，其低功耗双稳态的特点是一个重点技术特征，不仅可以应用于户外广告牌、可穿戴设备...

本发明涉及探测器，具体为一种面阵级封装非制冷红外探测器及其制备方法。、非制冷红外焦平面探测器是在超高真空环境下通过吸收外界的红外能量转化为电学信号来进行成像，在非制冷红外探测器的制作过程中必须使用到吸气剂，并在探测器真空密封环境下激活，从而去除残余气体以保持更高的真空度。同时，在探测器后期...

本发明涉及mems技术、晶圆级封装领域，特别是涉及一种具有晶圆键合密封结构的键合晶圆。、晶圆键合是微电子机械系统(mems)技术中具有mems工艺特色的关键三维集成工艺技术，应用非常广泛。晶圆键合是指在一定的外部工艺条件作用下，使两个晶圆衬底材料形成足够近的接触，最终通过相邻材料的界面之间...

本公开总体涉及一种致动器，更具体地，涉及一种被配置用于相机封装内的微型mems致动器。、如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在许多应用中，例如便携式装置、成像相关装置、电信组件和医疗仪器，微型致动器易于实现这些应用的小尺寸、低功率和成本限制的要求。、微机电系统(mems...

本发明涉及一种凸角保护技术，特别是通过各向异性湿法腐蚀工艺腐蚀mems器件邻近凸角的保护技术，属于微电子机械系统(mems)领域。、各向异性湿法腐蚀是微机械加工技术的核心技术之一，是制造梁、膜片、喷嘴、台面和其它三维微结构的重要技术。各向异性湿法腐蚀技术存在的问题之一是：当微结构(如惯性传...

本发明涉及流量传感器，特别是涉及一种mems热膜式流量传感器芯片及其制备方法。、热膜式空气流量传感器通常包含一个加热元件和一个或多个测温电阻。加热元件通过通电产生热量，使其周围的空气温度升高形成温度场。当空气流经传感器时，流动的空气会带走部分热量，导致温度下降。测量温度变化的传感器可以确定...

、移动和智能设备正在向越来越多的环境激增，从而赋能诸如导航、健身跟踪、家庭自动化和车辆控制之类的大量应用。微机电系统(mems)传感器以极小的封装在各种各样的设备和终端使用环境中提供大量测量。例如，mems麦克风、压力传感器、加速度计、陀螺仪和超声波传感器能够监视声音和语音命令、压力、线性...

本申请涉及电容式压力传感器，尤其是涉及一种采用wlp封装的硅电容压力传感器及其制备方法。、硅电容压力传感器是以硅材料为基础，利用mems和硅微加工技术制作的硅膜，作为可动电极，在压力的作用下发生形变，与固定电极之间的电容发生变化，通过检测电容的变化实现对压力的测量，具有功耗低、灵敏度高、受...

本发明涉及mems封装领域，特别涉及一种mems陀螺的抗过载封装结构。、随着微机械加工工艺的不断成熟，微机械（mems）陀螺的精度不断提高，由于其体积小、质量轻、成本低、可靠性高等特点，各国都将其作为制导武器等高过载领域中角速率传感器的首选。但是目前mems陀螺在高过载环境中存在两大问题：...

本技术涉及电子设备，更具体地，本技术涉及一种组合传感器和电子设备。、随着科技的发展，电子设备在日常应用中越来越广泛，而电子设备通常集成有诸多功能，例如对声音、气压、振动等信号的感测功能，以满足用户的各种需求。、在现有技术中，电子设备中通常通过设置多种传感器进行各类信号的感测，但在电子设备内...

本技术涉及半导体封装，尤其涉及一种mems惯性器件多轴正交封装支架。、惯性导航系统具有高度的自主能力和抗干扰能力，可以提供完备、连续及高数据更新率的导航信息，在航空、航天、航海等领域都得到了广泛应用。近几年来，mems惯性器件发展迅速，精度不断提高。虽然精度相比光纤陀螺、激光陀螺仍有很大差...

本发明涉及红外光源，具体为一种高性能低成本的mems红外光源及其制备方法。、在红外气体传感器、红外光谱探测、红外医学成像等应用领域，红外光源都是不可缺少的部件，红外光源的性能极大地影响着整个红外系统的性能。目前主流的红外光源主要有三类，红外发光二极管、量子级联激光器、热辐射红外光源。其中，...

本发明涉及红外光源，特别是涉及一种陶瓷支撑梁式的mems红外光源及其制造方法。、mems红外光源需要加热层产生的焦耳热进行工作，当电流通过加热层的电阻线条时，加热层的电阻线条产生的焦耳热会因为热传导、热对流和热辐射散失，尤其热传导是造成热量散失的主要因素，只有一部分热量被应用在辐射层中。、...

本发明属于微机电系统，特别是涉及一种mems器件封装结构及其制备方法。、mems谐振器是一种mems（micro electro mechanical system，微机电系统）器件，由mems芯片和asic（application specific integrated circuit，...

本发明属于微机电传感器，涉及一种mems熔融石英谐振式传感器的加工方法，具体涉及一种电磁驱动的高品质因数mems熔融石英谐振式传感器加工方法、基于微机电系统(mems)技术的传感器具有体积小、功耗低、寿命长、可批量生产、价格便宜等特点。其中，谐振式传感器作为传感器的一类，广泛用于多种物理参...

本发明涉及微机电，特别涉及一种mems器件及其制作方法。、mems(micro-electro-mechanical system，微机电系统)器件是指利用微电子和微机械加工技术制造出来的元件，它们具有微型化、集成化、智能化、多功能和低成本的优点。、图至图为现有的一种mems器件的制作方法...